流量(liang)測量技(jì)術之 微小(xiǎo)流量 的測(ce)量     
半導體(ti)制造業(ye)、生物工(gong)程、精細(xì)化工等(děng)的興起(qi)，使流量(liàng)測🥵量💛向(xiang)低端延(yan)伸，小流(liu)量計流(liu)量的要(yao)求在上(shang)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來(lai)。何謂小(xiǎo)流量 ? 業界(jiè)尚無*的(de)定義和(he)界限，小(xiǎo)流量因(yin)應用領(lǐng)域而異(yì)是一個(gè)模🍓糊🌂的(de)概念。管(guan)道小流(liu)量測量(liang)體現于(yu)管徑☁️小(xiǎo)和流速(su)低兩🆚個(gè)層次，就(jiu)流程工(gong)業而言(yán)，習慣上(shang) DN10 甚(shen)至 DN15 以下管(guan)徑流量(liang)測量稱(cheng)之小流(liú)量測量(liang)，通常其(qí)流量值(zhi)液🌂體爲(wèi) 1L/min 或(huò) 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量(liàng)儀表滿(man)度流量(liàng)時的流(liu)速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測量(liàng)方法
傳統(tǒng)小流量(liang)測量技(jì)術節流(liú)差壓 ( 層流(liu) ) 法(fa)、浮子法(fǎ)和容積(ji)法等有(yǒu)了的改(gǎi)進，新測(cè)量技術(shù)如超🔞聲(sheng)法、熱法(fa)✔️、科裏奧(ào)利法等(deng)也有成(chéng)效地應(yīng)于液體(tǐ)和氣體(tǐ)小🈲流量(liang)測量。
2 、特點(diǎn)
微(wēi)小流量(liàng)與一般(bān)流量測(cè)量相比(bi)較，具有(you)以下特(te)點。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guan)道流動(dong)均爲紊(wěn)流流動(dòng)，流量儀(yí)表也是(shì)針對紊(wěn)流✂️流動(dòng)态設計(ji)的，而小(xiao)流量儀(yí)表因管(guǎn)徑小常(cháng)處于層(ceng)流流動(dòng) ( 例(li)如管内(nèi)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liú) / 紊(wěn)流過渡(du)區流态(tài)流動，小(xiao)流量測(ce)量受使(shǐ)用中流(liu)體黏度(du)⛱️變化影(ying)⛷️響頗大(da)。
2) 要(yao)用實際(ji)使用流(liú)體校準(zhun)
液(ye)體流量(liàng)儀表一(yi)般用水(shuǐ)校準，氣(qì)體用空(kong)氣校準(zhǔn)。若💯知道(dao)🐉實際🔴測(cè)量流體(tǐ)與校準(zhǔn)流體間(jian)某些物(wù)性不同(tóng)對示🐪值(zhi)有規律(lǜ)🏃變化時(shí)，中大管(guǎn)徑流量(liàng)儀表常(cháng)以适當(dāng)系數修(xiū)正。但🔅有(yǒu)些小⭐流(liu)量儀表(biǎo)受黏度(du)等流體(ti)物性影(yǐng)響大，須(xū)以實際(jì)使用流(liú)體校準(zhun)。所幸流(liú)量小，用(yòng)🌈實際使(shǐ)用流🐅體(tǐ)校準難(nan)度不大(da)，但在作(zuo)有害性(xing)流體校(xiao)準時應(yīng)注📐意安(an)全和環(huán)境污染(rǎn)。
3) 要(yào)求測量(liang)時防止(zhǐ)污染流(liu)體
若測量(liàng)潔淨氣(qi)體和純(chún)水常不(bu)允許接(jiē)觸流體(ti)的儀表(biao)零件材(cai)料析出(chū)離子，例(lì)如半導(dao)體制備(bei)中儀表(biao)不能用(yòng)金屬🐉和(hé)玻璃制(zhi)🌈成，隻能(neng)用塑料(liao)。流體中(zhōng)也不允(yǔn)許混入(rù)活動件(jian)的磨蝕(shi)塵粒。流(liú)量儀表(biao)流通通(tong)道要盡(jin)可能簡(jian)單，不應(ying)有潴留(liú) ( 指(zhǐ)液體在(zai)體内不(bú)正常地(dì)聚集停(tíng)留 ) 部位，防(fáng)止潴留(liu)介質變(biàn)質。
4) 氣泡和(hé)塵埃附(fù)着的影(yǐng)響
因管徑(jìng)小黏性(xìng)增加，液(yè)體中微(wēi)細氣泡(pao)易在管(guǎn)系流動(dong)過程中(zhōng)積聚變(biàn)大，使測(cè)量時指(zhi)示不穩(wen)，度下降(jiàng)。流體中(zhōng)塵埃附(fù)着測量(liang)元件也(ye)要影響(xiǎng)測量值(zhi)，例如浮(fú)子流量(liàng)計的浮(fu)子上沉(chen)🏒積有肉(rou)⭐眼覺察(chá)不出的(de)附着層(ceng)也會影(yǐng)響示值(zhi)。
5) 流(liú)量儀表(biǎo)品種使(shǐ)用上受(shòu)到一定(dìng)限制
在衆(zhōng)多測量(liàng)原理流(liú)量儀表(biao)中，因各(ge)種原因(yin)小流量(liang)應用🈲受(shou)到🤞一些(xie)限制，當(dang)前能應(yīng)用于小(xiao)流量的(de)品種如(rú)表格所(suo)示