産品(pin)簡介:
FS4001系列
氣體流(liú)量監測傳感器
是專門爲各類(lei)小流量氣體的測(ce)量和過程控制而(ér)設計的。這一系列(lie)傳感器均采用本(běn)公司自主研發✉️的(de)微機電系統(
MEMS
)流量傳感芯片來(lai)制作。
FS4001系列
氣體流(liu)量監測傳感器
适用于各類清(qing)潔氣體。*的封裝技(ji)術使之可用于各(ge)👣類管徑,成本低、易(yì)安裝、不需要溫度(dù)壓力補償,可替‼️代(dài)容積式或壓差式(shi)的傳🔴統流量傳感(gan)器。
産品(pin)特點:
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傳感器(qì)靈敏度高
,
有(you)極小的始動流量(liàng)
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傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liàng)計量
,
無需溫(wēn)度壓力補償
,
保證了傳
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感(gan)器的高精度計量(liang)
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在單個芯片(piàn)上實現了多傳感(gan)器集成
,
使傳(chuan)感器的量程比大(dà)大提高
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傳感(gan)器的零點穩定度(du)高
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全量程高(gāo)穩定性
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全量(liang)程高精确度和優(yōu)良的重複性
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低功耗
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低壓(yā)損
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響應時間(jiān)快
機械尺寸(cun):
主要參(can)數:
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性能參數
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FS4001
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單位(wèi)
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通 徑
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1.0
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1.8
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mm
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大流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程(cheng)比
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>100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性
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0.25
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%讀(du)數
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零點輸出飄移(yí)
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±30
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mV
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輸出飄移
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±0.12
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%/oC
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響應時(shi)間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出(chu)方式
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線性,RS232/模拟電(diàn)壓0.5~4.5Vdc
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大流量壓損
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350
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300
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pa
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大(dà)工作壓力
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0.5
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MPa
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工作溫(wen)度
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-10 ~ +55
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oC
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存儲溫度
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-20 ~ +65
|
oC
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工作(zuò)濕度
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<95%RH(無結冰、無凝(ning)露)
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機械接口
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可拆(chāi)式軟管接頭
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校準(zhǔn)方式
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空氣(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa
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重量
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15
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g
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