産品時(shi)間：2025-12-01
FS4001系列小(xiao)流量氣體(ti)質量流量(liang)傳感器是(shi)專門爲各(gè)類🔅小流量(liang)🔆氣體的測(ce)量和過程(cheng)控制而設(she)計的。這一(yi)系列傳感(gan)器均采用(yong)本💋公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xi)統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片😄來(lái)制作，适用(yòng)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shù)使🈲之可用(yong)于👅各類管(guǎn)徑，成本低(di)、易安裝、不(bú)需🎯要溫度(dù)壓力補償(cháng)，可替代👅容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuan)統流量傳(chuan)感器。
産品(pin)簡介：
FS4001系列(liè)小流量氣(qì)體質量流(liú)量傳感器(qì) 是專門爲(wèi)各類小流(liu)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(ér)設🤞計的⁉️。這(zhè)一系列傳(chuán)感器均采(cai)用本公司(sī)自主研發(fā)的微機電(diàn)系統（MEMS）流量(liang)傳感芯片(piàn)來制作，适(shì)用于各類(lèi)清潔氣🈲體(tǐ)。*的封裝技(jì)術☔使之可(ke)💞用于各類(lèi)管徑，成本(ben)低、易安裝(zhuang)、不需要溫(wen)度壓力補(bu)償，可替代(dai)容積式或(huo)🔆壓差式的(de)傳統流量(liàng)傳感🙇🏻器。
産(chǎn)品特點 ：
FS4001系列小(xiao)流量氣體(ti)質量流量(liàng)傳感器
靈(ling)敏度高,有(yǒu)小的始動(dòng)流量傳感(gǎn)器芯片采(cǎi)用熱質量(liang)流✊量計量(liàng)😍,無需溫度(du)壓力補償(chang),保證了傳(chuan)感器的高(gao)精度計量(liàng)在單個芯(xin)片上實現(xian)了多傳感(gǎn)器集成,使(shǐ)傳感器的(de)量✂️程比大(dà)大提高傳(chuan)感器🌈的零(líng)點穩定度(du)高全量程(cheng)高穩定性(xìng)全量程高(gāo)精确度和(he)優良的💔重(zhong)複性低功(gōng)耗低壓損(sun)響應時間(jiān)快
主要參(can)數：
|
性能參(cān)數 |
FS4001 |
單位 |
|
|
通(tong) 徑 |
|
|
mm |
|
大流量(liang) |
30, 100, 200 |
|
SCCM |
|
量程比 |
≥100:1 |
|
|
|
精(jing) 度 |
|
||
|
|
0.25 |
|
|
|
零點(diǎn)輸出飄移(yi) |
±30 |
||
|
輸出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
|
|
|
|
||
|
工作電源(yuan) |
|
|
|
|
|
線性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
||
|
大流(liu)量壓損 |
|
|
|
|
大(dà)工作壓力(lì) |
|
|
|
|
|
oC |
||
|
存儲溫度(dù) |
oC |
||
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
15 |
|
|
機械(xiè)尺寸：
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
