産(chǎn)品時間：2025-12-01
氣體檢(jiǎn)測/測漏流量(liàng)計傳感器靈(líng)敏度高,有極(ji)小的始♉動流(liu)量
- 傳感器芯(xīn)片采用熱質(zhi)量流量計量(liang),無需溫度壓(yā)力補償🍉,保證(zheng)了傳
- 感器的(de)高精度計量(liàng)
- 在單個芯片(pian)上實現了多(duo)傳感器集成(chéng),使傳感器的(de)✌️量程比大大(da)提高
- 傳感器(qì)的零點穩定(dìng)度高 全量程(cheng)高穩定性
産品簡介：
FS4001系(xì)列小流量氣(qì)體質量流量(liàng)傳感器是專(zhuan)門爲各類👌小(xiǎo)🏒流量氣體📧的(de)測量和過程(cheng)控制而設計(ji)的。這一系列(liè)傳感器均采(cǎi)用本👅公司☁️自(zi)主研發的微(wei)機電系統（MEMS）流(liu)量傳感芯片(pian)來制作，适用(yòng)于各類清潔(jie)氣體。*的封🏃裝(zhuāng)技術使之可(kě)用于🍉各類管(guan)徑🌈，成本低、易(yi)安裝、不需要(yao)溫度壓力補(bǔ)償，可替代容(rong)積式或壓差(chà)式的傳統流(liú)量傳感器🏃🏻♂️。
氣(qi)體檢測/測漏(lòu)流量計産品(pǐn)特點：
- 傳感器(qì)靈敏度高,有(yǒu)極小的始動(dong)流量
- 傳感器(qi)芯片采用熱(re)質量流量計(ji)量,無需溫度(dù)壓力補償,保(bǎo)證了傳
- 感器(qi)的高精度計(ji)量
- 在單個芯(xīn)片上實現了(le)多傳感器集(ji)成,使傳感器(qi)的量✉️程比大(dà)🌍大提高
- 傳感(gan)器的零點穩(wěn)定度高
- 全量(liàng)程高穩定性(xìng)
- 全量程高精(jing)确度和優良(liang)的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損(sǔn)
- 響應時間快(kuai)
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性(xing)能參數 |
FS4001 |
單位(wei) |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大流量(liàng) |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數(shu) |
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零點輸出飄(piao)移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工(gong)作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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zui大流(liu)量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gōng)作壓力 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫(wēn)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(dù) |
<95%RH（無結冰、無凝(ning)露） |
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機械接口(kǒu) |
可拆式軟管(guan)接頭 |
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校準方(fāng)式 |
空氣（或其(qí)他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量(liang) |
15 |
g |
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